端在线检测工位。
缺陷检测机和线宽量测机瞬间启动扫描,海量微观成像数据快速刷新在大屏之上。
当最终检测结果跳出的那一刻,团队成员呼吸同时停滞。
大屏幕上清晰显示——
实测线宽:1.02nm
套刻精度:1.18nm
边缘粗糙度:≤0.45nm
微观缺陷数:0
轰!!!
团队瞬间炸了!!!
“神呐!所有核心参数全部达到甚至超越国际商用1nm制程标准!!”
“苏总研发的国产HighNAEUV光刻机竟然成功了!!!”
“OMG!太不可思议了吧!!谁能掐我一下!我不是在做梦吧?!!”
不是……
成功了?
安若素和安无恙两位门外汉相视一眼,对于不懂的人来说,连是否成功都无法分辨。