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第671章 第二步:覆海!破晓 A220 EUV光刻机[3 / 6]

”一名年轻的研究员忍不住地喊了出来,声音因激动而变得有些失真。

大家心里清楚!

第一台EUV光刻机对华国的重大战略意义!

几乎在同一时间,位于光路末端的EUV功率探测器,传回了第一条数据:107瓦!

一个在ASML看来早已被甩在身后的数字,此刻却让整个控制室陷入了短暂的寂静,随即爆发出巨大的欢呼声!

许多人下意识地拥抱在一起,眼眶瞬间红了。

林南感觉自己的手都在微微颤抖,于是紧紧抓住栏杆,强迫自己冷静下来。

陈延森倒是心态平稳,他抬手压了压,控制室里的欢呼声很快平息。

“提高功率档位!”陈延森继续说道。

EUV光刻机的功率直接决定单位时间内的晶圆处理数量,每一次曝光都需足够的EUV光能量触发光刻胶的光化学反应。

若光源功率低,需延长单次曝光时间或增加脉冲次数,才能满足能量需求,导致单晶圆处理时间变长。

比如200W功率的机型每小时可处理约125片晶圆,而250W机型可提升至每小时170片,产能提升近40%。

技术差一点,就是差了一大截!

而且功率越高,单位晶圆的光刻成本就越低,规模化优势就越强。

闻言,林南立刻收敛心神,右手在控制台上快速滑动,目光紧盯着功率调节界面:“收到!当前目标档位220瓦,升压速率已调至安全阈值,避免等离子体不稳定。”

控制台屏幕上,代表光源功率的数字开始缓慢爬升,每一个数值的跳动,控制室内的呼吸声就跟着沉重一分。

137瓦、168瓦、214瓦……

当数字稳稳停在220瓦时,林南立即看向一旁的光源稳定性监测曲线。

那条代表等离子体约束状态的绿色线条,始终保持着平稳的波动,没有出现任何异常的尖峰或骤降。

系统运行稳定!

“功率稳定在220瓦!等离子体约束状态良好,没有出现能量泄漏!”

林南的声音比刚才响亮了几分,紧绷的肩膀也稍稍放松了一些,脸上绽放出一抹旁人看不见的灿烂笑容。

作为国产第一台EUV光刻机的核心研发人员,那是妥妥能登上教科书、评院士、留名青史的人。

他连忙深吸了一口气,强行控制住自己的情绪。

陈延森微微颔首,转头看向章延杰:“光学系统同步适配,检

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