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第222章 双双突破[1 / 3]

陈立峰指着上面的阶段性战报:“许总,就在一周前,天虹激光成功下线了第一台工业级193纳米波长的ArF准分子激光器!输出功率直接飙到了60瓦!而且成功通过了72小时连续不间断稳定发光的严苛测试,彻底解决了光学谐振腔的散热变形问题!”

许晨深吸了一口气,将这两份文件与长天光学的报告并排放在了茶几上。

长天光学——NA0.85的深紫外光刻物镜系统。

天卓精密——1.5纳米定位精度的磁悬浮双工作台。

天虹激光——60瓦大功率、极度稳定的193纳米准分子光源。

许晨看着这三份代表着华国半导体设备工业最高水平的结晶,眼神变得极其深邃。

“立峰,你知道这三家公司加在一起,意味着什么吗?”许晨声音低沉。

(作者在此解释一下:光刻机研发国家从02年就开始了,这个时候双工作台和镜片都出成果了,但是作者设定的比原定的要快,原因就三点:站在国家已有的成果上、有海外搞来的顶级设备、敢砸钱不写报告。不是天宇比国家强,是许晨用资本和效率,在国家打好的地基上盖了座更高的楼。主要是效率高加上系统神力!资金依旧是晨宇资本在国内外股市搞得,内容太多了就不细写了。)

陈立峰咽了口唾沫:“意味着……我们离造出国产光刻机,只差临门一脚了?”

“不,意味着从今天起,我们在半导体制造的底层设备上,终于有了真正掀桌子的实力!”

许晨猛地靠在沙发上,“国外那些巨头一直嘲笑国内的02专项造出来的都是实验室里的残次品。他们卡住镜头、卡住光源,咱们的芯片代工厂就得看他们脸色。但现在,这三大核心部件不仅做出来了,而且参数比他们想象的还要高、还要稳!”

“许总,接下来怎么做?”陈立峰问道,“咱们天宇自己建厂,把这三大件攒起来造光刻机吗?”

“不拼。”许晨摇了摇头,“光刻机整机集成是一个极其复杂的系统工程,就像指挥一个几万人的交响乐团。光有小提琴(镜头)、钢琴(工作台)和指挥棒(光源)还不够,还需要流体控制、涂胶显影等几万个零部件的配合。”

许晨目光如炬地看向陈立峰:“你准备一下,去找上微电子(SMEE)的负责人。他们是国内唯一有整机集成经验的国家队。2016年,他

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