“许总,咱们这台65纳米干式机,底子打得非常优秀。尤其是长天光学的物镜和天卓的工件台,性能余量很大。”贺建国解释道,“目前,我们在65纳米的基础上搞浸没式DUV(利用水来折射光线,提高分辨率),已经进入了实验室验证阶段。各项参数表明,只要解决好流体控制问题,分辨率完全可以下探到45纳米,甚至突破到32纳米!”
“至于后续……”贺建国顿了顿,语气变得极其郑重,“只要配合多重曝光技术,我们有极大的把握,在两年内,用这套浸没式方案,砸出28纳米的工艺制程!”
28纳米!
听到这个数字,许晨的眼神瞬间变得无比锐利。28纳米,这是成熟制程与先进制程的分水岭。
只要拿下28纳米,目前国内百分之八十以上的芯片需求,都能自己解决,再也不怕被别人卡脖子了。
“许总……”
贺建国看着许晨,突然叹了口气,语气变得有些复杂和感慨。
“谢谢你,许晨。”贺建国没有叫他许总,而是直呼其名,语气中透着深深的感激。
许晨愣了一下:“贺总工,这是哪里话。天宇也是为了自家的芯片能有地方生产。”
“你不用谦虚,我也知道咱们国家目前是个什么情况。”贺建国摇了摇头,“自从零几年那次恶劣的汉芯造假事件之后,国家虽然没有完全放弃,但高层内部有一部分人,对半导体底层设备的完全自研这条路,是保持怀疑态度的。觉得投入大、见效慢,是个填不满的无底洞。”
“当然,这也是人之常情。”贺建国苦笑了一声,“造不如买嘛。现在国际上ASML的设备还能花钱买到,能买到,谁又愿意冒着极大的风险,投几百亿去自己造呢?”
贺建国看着眼前这两台光刻机,眼眶有些发红。
“只有等哪天别人彻底卡住我们的脖子,让我们一次性受了重伤、吃了大亏,某些人才会被打醒,才会不计成本地去投入。但真到了那个时候,技术代差已经拉得太大了,想追,太难了。”
贺建国转过头,看着许晨,眼神中满是敬佩。
“但是你许晨不一样。我听上面领导说了,你这几年搞那个晨宇资本,在国际股市和金融市场上赚了将近一百亿。而你,把这笔钱的绝大部分,都不计回报地砸进了光刻机三大件的研发里。”
贺建国拍了拍光刻机的外壳。
“这就
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