主题:
字号:
16
行距:
2.0

第92章 56型接触式光刻机制成![2 / 3]

光刻机终于正式装配完成。

它占地面积极大,比起原先的土光刻机都要大上一圈。

原因也简单,毕竟原先的土光刻机并不承担那些大照相机等后续的工作。

而如今完整的光刻,除了最后封装外皆会在这台机子上完成。

几人眼下还来不及高兴,曹文三与曲嵩二人正将预先涂布好光刻胶的硅片交由沈永健装入工件台上。

首件光刻的测试,才是决定这台光刻机能否投入工作,是不是正式制成的关键。

沈永健深吸了口气,尽可能地平复心绪,透过镜头将硅片的复杂电路与掩膜版精确对准。

而卓邵文负责操作精密的真空吸附装置固定硅片和掩膜版。

“X轴偏差0.05微米,Y轴…0.03微米…旋转偏差…修正完毕!”

初步手动校准后,完成最后一道电镜的自动校准,沈永健从操作台退后一步。

“对准完成!准备曝光!”

其余几人同样跟着后退,撤出设备的核心区域,目光跟随着沈永健按下了启动按钮。

嗡——

高压汞灯瞬间点亮,炽白的光线经过复杂的光学系统,穿透掩模版,精准地投射在涂有光刻胶的硅片上。

设备内部传来冷却液循环的水流声和精密机械运转的细微蜂鸣。

预设的曝光时间在紧张而寂静的空气中一秒一秒地流逝。

所有人脸上都不免闪过紧张与期待。

饶是沈永健也一样,他对理论图纸有信心,但最终组装成的设备也没法一次保证能成,万一有个别零件不合格等,都会影响这台精密机器的运转。

“叮!”

终于!

计时器清脆的提示音打破了沉寂,曝光结束。

沈永健立刻上前,小心翼翼地取下硅片。

卓邵文迅速准备好显影液槽,当硅片浸入显影液,经过短暂的化学反应和冲洗后,被放在高倍显微镜下。

沈永健第一个凑近目镜,显微镜视野中,清晰地呈现出一组极其微小的,边缘锐利的线条图案。

正是掩模版上设计的晶体管电路图形!

运气不错!

哪怕是这个不太稳定成功率不高的光刻胶,这次竟也一次便成,将图案精确地转移到了硅片上!

“成了!”

卓邵文紧接着凑上前朝目镜观察,也是第一个在这半夜的研制车间喊出声。

声音因激动而有些沙哑,疲惫的脸上瞬间被巨大的喜悦和难以置信的光芒点亮。

曹文三与曲嵩二人同样兴奋

本章未完,请点击下一页继续阅读!

父子都偏心,这大院贤妻她不当了
星熠
一晌贪欢,禁欲首辅又争又宠
可乐冰
重生八零:用半袋白米换了个资本家老婆
狼性佛心
骗我养私生子?我转身闪婚千亿总裁
风栖月
七零好运系统,教授夜夜求我给名分
九宵
官梯:从选调生开始问鼎权力巅峰
一碗热汤面
综影视:美强惨救护行动
青衣染墨y
最狂皇太子
汉三
在古代做个小县官
好酸的杨梅
娇唇轻勾!冷酷兵王红透耳根!
程小尧
东北嫡长女过年回家狂喷奇葩亲戚
落花风雨陌上无忧
一心求死,反倒成为千古一帝?
me小气猪
修罗剑神王腾
三寸寒芒
温医生,你的小病患想拐你
玄门听雨
大佬十代单传,我为他一胎生四宝薄宴沉唐暖宁
白生米
一胎四宝薄宴沉唐暖宁
白生米
师叔,你的法宝太不正经了
李别浪
快穿:我用读心术救命
梅香家的涟漪
当兵发老婆,迎娶异族美人后我称王了
十九麒
丑女嫌我穷,你错失真龙!
冻豆腐
替大哥娶资本家大小姐?坑全家!闯兴安
鱼夜栖
农妇被赶出家门后,相公儿子悔疯了
夜如星
天幕,刷个短视频,古人集体破防
云客来
纯人类在废土被疯狗哨兵强制圈养
医学是缅北
薄宴沉唐暖宁
白生米
大唐:误认李世民做爹,我成亚洲洲长了
孤狼
与卿守,与君知
熠瑾
重回1982小渔村
米饭的米
公若不弃,愿拜为义父
辣酱热干面
妖尾:我才不要当会长
想吃冰棒
穿越,然后被富家JK堵门
晚不鸽
修仙界只有妖女了是吗
月下千早
四合院之扮猪吃老虎
戈壁孤狼夜
半岛头号玩咖!
HKDoll
半岛小行星
鸡兔同笼
秦时小说家
偶米粉
以一龙之力打倒整个世界!
唐宋元明氢
美警生存实录:以德服人
夜叶总差
诡异监管者
露馅的芝麻胡
发薪就能变强,我有十亿员工!
今月曾经照古河
大明:从战场捡属性开创诸天大明
无谅888
税收只在机枪射程内!
践行践远
不能开高达那我还参什么军!
幽灵从不迷路
混沌天帝诀凌峰苏琳
剑轻阳
魔王大人深不可测
晨星LL
白手起家,蝙蝠侠干碎我的致富梦
火星咖啡
第四天灾从不相信钢铁洪流!
喀秋莎第一可爱
人在斗破:天赋绝世竟带系统
仪昔
超武斗东京
木隐红尘
噬恶演武,诸天除魔
温茶米酒