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第1085章 我在硅片上打了一个全世界最直的孔[3 / 3]

线的理论验证。用大白话来说就是,我们找到了一种方法,可以在硅片上从上往下打出一个极其标准、极其笔直、极其深的孔,而且这个方法完全不需要依赖海外的化学品配方专利。

目前这个成果只走到了理论仿真阶段,还没有做出真正的实物。下一步我需要申请资金做实际的工艺验证,同时需要和陆远江教授的团队对接,看看这条路线在哪些芯片封装场景下最有价值。”

写完正文以后,夏春秋翻到最后一页,开始写预算申请。

这是最让他纠结的部分。

做工艺验证要采购特种化学品,要做硅片加工试验,要用刻蚀设备进行多轮参数验证,每一轮的耗材成本都不低。

而且硅通孔的工艺验证不是做一两次就够的,至少要跑二十到三十个批次,才能确认良率窗口和工艺稳定性。

算来算去,最低也得两千多万。

往上打点余量呢?万一中间设备出问题、材料批次不一致、需要额外增加实验组呢?

夏春秋咬了咬笔帽,在预算那一栏填了一个数字:3000万元人民币。

填完以后又看了看,有点心虚,改成了5000万。

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