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第92章 1.5纳米级光刻机问世,刷新世界水准极限![2 / 2]

,快让我看看光刻机!”

小神童科研院的实验室已经很大了,但此时还是有些迈不开脚。

因为地上堆积了不少失败的产品,都是陆泽一次次制作出来后,又丢弃的。

此时见周明远这般急不可耐,陆泽也是笑了笑,向着一台没有涂料,光秃秃的机器走去。

这机器,呈现长方形,三米高,十米长。

尺寸可以说完全是按照现今最强的EUV光刻机打造。

其内包含光源模块、光学系统、工件台、掩膜台、覆盖双工件台、真空腔体、冷却系统、减震支架等等。

可以说五脏俱全,没有一处减配。

乍一看上去,还真像那么回事。

“厉害啊!这么大的一个东西,真难以想象你一个小孩子怎么做出来的!”

还没等看光刻机的实际效果,周明远就忍不住先夸赞了起来。

陆泽笑笑不语。

他天生神力,耐力超群,跟普通小孩比就是两个维度的生命,自然可以做到。

此刻不纠结这个话题,上前介绍道:“这是一台1.5纳米级的光刻机,光源功率超过250W,数值孔径0.55,套刻精度小于1.1纳米,产能也是远大于7纳米光刻机,以下是具体参数……”

陆泽正说着。

可旁边的周明远已经听呆了。

早在听见第一句时就已经听呆了!

1.5纳米!

这竟然是一台1.5纳米级的光刻机!!

要知道,现在世界上最顶级的EUV光刻机,也就是被漂亮国卡脖子,限制进口的那个版本。

参数虽说是支持5纳米以下的工艺,但其实到3纳米就已经极限了。

而这,都已经让全球无数国家望尘莫及。

甚至大夏根本不敢往那上边想,现在研制的DUV光刻机,经过多重曝光手段,才堪堪达到等效7纳米。

结果陆泽一出手,半年不到,1.5纳米级光刻机问世!

这他妈简直是天神下凡!

周明远能不傻吗?

甚至三四个月前,他来到小神童研究院的那个晚上。

当听见陆泽说要发明光刻机时,他都以为只是要研制一个跟国际顶尖水准差不多的3纳米级EUV光刻机。

谁成想,陆泽直接不可思议的超车。

一口气干到了1.5纳米!

真他妈就一个字,绝!

……

……

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