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第650章 掩膜台双核心技术难点?给我破!章[3 / 4]

围着陈延森打转,一口一个陈老师的叫着。

这时,章延杰抱着一台笔记本电脑凑到陈延森的面前问道:“陈老师,您昨天说的扰动补偿算法流程图,我回去想了半宿,有个地方还是没吃透。”

他顿了顿又说:“扩展卡尔曼滤波器在估算外部扰动时,怎么平衡响应速度和估算精度?我按您给的参数做仿真,响应快了,误差就飘到200纳米以上,想把误差压到50纳米以下,响应速度又变慢了,遇上突发的扰动情况,根本来不及补偿。”

陈延森停下脚步,紧盯着屏幕看了几十秒,随即开口说道:“老章,你看这条扰动曲线,外部干扰不是恒定的,比如气浮组件的压力波动,有时候是高频小幅度的,有时候是低频大幅度的。

你之前用的是固定增益的卡尔曼滤波器,自然没法兼顾速度和精度,可以加个自适应增益模块,让滤波器自己判断扰动类型。

高频小扰动时,把增益调大,加快响应;低频大扰动时,降低增益,减少误差。

我昨天做了组仿真,用这个逻辑,响应时间能控制在10毫秒以内,误差能稳定在20纳米以下,你今天试试这组参数。”

章延杰眉心深蹙,过了好一会儿,才拍着大腿喊道:“对啊!我怎么没想到要分扰动类型调整增益!”

有些技术障碍,其实就像一层窗户纸,一捅就破。

可要是没人点拨,说不定就得在门口绕上数月、乃至数年的弯路。

听到动静,周围几个埋头干活的研发工程师也围了过来。

清华自动化系的李拓扑指着图上的模块问道:“这个自适应增益的阈值该如何设定?如果对扰动类型判断失误,会不会反过来影响精度?”

其他几人的脸上,同样带着好奇。

陈延森微微颔首,拉过一把椅子坐下,直接用章延杰的电脑调出了一组实验数据:“可以用前500毫秒的扰动数据做特征提取,比如频率超过100Hz、幅度小于0.5纳米的,归为高频小扰动;

频率低于50Hz、幅度大于1纳米的,归为低频大扰动,中间模糊地带的,用加权算法平衡增益,这样判断准确率能达到98%以上,基本不会出错。”

几名来自清华自动化系的教授听后,眼前一亮,不由地咽了咽口水。

哈工大的几位博士面面相觑,眼中闪过一抹震惊之色。

与陈延森接触的越多,就越能感觉到世界

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