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第201章 51区的脑补闭环了(1w)[7 / 13]

大家都深知设备限制,不得不自力更生。

最开始团队只能自制光刻掩模,通过反复试验优化曝光和显影工艺。

设计最简单的光学系统,利用现有显微镜改装,勉强实现微米级图案化。

这样搞,无论是良率还是稳定性都特别差。

好在东德的合作很快到来,就像一阵春风,东德在光学仪器上,帮助他们快速解决了原本无法解决的关卡。

一个接一个的克服,能做到微米级的步进式光刻机打造出来后,芯片印刷上的难题都迎刃而解。

按照原历史,华国本来也在1965年,由华国科学院微电子研究所和申海光学仪器厂一起合作,研发出了华国第一台65型接触式光刻机。

《1956-1967年科学技术发展远景规划纲要》里关于半导体技术制定的计划,几乎都实现了。

只是现在,因为有了更具体的目标。

65式这种只是基于研发的机器是肯定无法满足。

华国和东德合作,造出来要更符合实际生产需要,已经和原本1985年才搞出来的分步光刻机相差不大了。

剩下的就是高纯度的硅,国内硅片常含杂质。

进口高纯硅受限。

从区域精炼工艺到炉子改造,再到温度精准监控。

这些都无法依赖东德,只能靠自己。

树莓派在这个过程中起到了巨大作用。

改进后的区域精炼设备,如果只考虑温度控制系统,这套基于树莓派计算打造的温度控制系统,比德州仪器的还要更先进。

不过越是研发,华国科研人员内心的紧迫感就更甚。

毕竟整个51区知道树莓派存在的人里,从上到下,没有一个会觉得树莓派只有华国有。

大家都很清楚,阿美莉卡也有,而且只会更多。

在这样的想法下,他们都以为自己只是接近阿美莉卡最先进水平。

压根想不到,他们基于便携式计算机打造的整套技术,有不少都站在了世界先进水平。

光刻、刻蚀和互连工艺是集成电路制造的核心,过去华国缺乏相关经验。

光刻掩模对准困难,刻蚀深度难以控制,金属互连常出现断路或短路。

DTL电路逻辑功能验证了,但良率太低,互连问题始终无法解决。

金属沉积的均匀性不够。

图案的精度不够。

他们几乎是在和时间赛跑。

最终,终于在去年年底的时候,成功在一平方厘米的硅片上制造

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