林燃抬手,指了指空气,似乎他们眼前就有CG-1光刻机一样。
“但CG-1的透镜组,永远不可能像ASML的纯石英镜片那样稳定。
它的材料、它的结构,注定对环境更敏感。
无论是从现在,还是从长远来看,我们都必须放弃绝对稳定的幻想,转向动态补偿。”
(本章完)